Система оптичного контролю напівпровідникових пластин
Вантажиться...
Файли
Дата
Автори
Науковий керівник
Редактор
Інші учасники
Відповідальний
ORCID
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
DOI
Альтернативна назва
Анотація
Проведено порівняльний аналіз існуючих модуляторів поляризації, обґрунтовано вибір компонентів, розроблено структурну та оптичну схеми комп’ютеризованої системи поляриметричного контролю напівпровідникових пластин. Також розраховано параметри схеми фотоелектричного перетворювача.
A comparative analysis of existing polarization modulators was carried out, the choice of components was substantiated, and the structural and optical schemes of a computerized system for polarimetric control of semiconductor wafers were developed. The parameters of the photovoltaic converter circuit are also calculated.
A comparative analysis of existing polarization modulators was carried out, the choice of components was substantiated, and the structural and optical schemes of a computerized system for polarimetric control of semiconductor wafers were developed. The parameters of the photovoltaic converter circuit are also calculated.
Опис
Ключові слова
УДК
Тип документа
Мова
ISSN
Посилання на публікацію
Серія, номер
ISBN
ББК
Інші ідентифікатори
Пов’язані матеріали
Спонсорська підтримка
Правовласник
Бібліографічний опис
Фельчин В. М. Система оптичного контролю напівпровідникових пластин [Електронний ресурс] / В. М. Фельчин, С. Є. Тужанський // Матеріали LIІ науково-технічної конференції підрозділів ВНТУ, Вінниця, 21-23 червня 2023 р. – Електрон. текст. дані. – 2023. – Режим доступу: https://conferences.vntu.edu.ua/index.php/all-frtzp/all-frtzp-2023/paper/view/18836.
Схвалення
Рецензія
Доповнено
Цитується в
Список використаної літератури (3)
- Бондарчук Я.М. Технологія і обробка оптичних матеріалів. Львів: Ліга-Прес, 2001. 242 с.
- Тужанський С. Є., Лисенко Г. Л. Системи лазерної відеополяриметрії для автоматизованого контролю параметрів неоднорідних біотканин : монографія. Вінниця : ВНТУ, 2011. 156 с.
- Оксанич А.П. Промислові методи і пристрої дослідження напружено-деформованого стану напівпровідникових матеріалів. Харків: Інститут монокристалів, 2001. 206 с.