Мікроелектронний частотний перетворювач вологості з ємнісним вологочутливим елементом на основі стибій або бісмут-вмісних діоксиматів ніколу(ІІ)

Abstract

Розроблено перетворювач вологості з ємнісним елементом, в якому вологочутливий шар виготовлений на основі стибій або бісмутвмісних діоксиматів ніколу(ІІ). Експериментально встановлено, що в діапазоні вологості 7 ÷ 30% найчутливішим є перетворювач з ємнісним елементом, виготовленим на основі стибійвмісного діоксимату ніколу(ІІ), що містить два атома стибію, чутливість якого складає 80 кГц/%. В діапазоні вологості 30 ÷ 90% спостерігається різке зменшення чутливості перетворювачів до 5 кГц/% незалежно від співвідношення атомів стибію чи бісмуту до ніколу, які входять до складу гетерометалевих комплексних сполук.The humidity sensor with a capacitive element wherein the moisture-sensitive layer is an antimony or bismuth dioksimat nickel (II) are designed. The most sensitive humidity transducer is the transducer with capacitive sensitive element based on dioksimat nickel (II), with two atoms of antimony in the range of 7 ÷ 30% of humidity. Its sensitivity is 80 kHz /% for this range. The transducer's sensitivity decrease to 5 kHz /% regardless of the ratio of atoms of antimony or bismuth to nickel, which are part of heterometallic complex compounds, for humidity range 30 ÷ 90%.