Оптичний мікроелектронний перетворювач з фототранзистором для контролю плазмохімічних процесів

Abstract

Розроблено математичну модель мікроелектронного оптичного перетворювача для контролю плазмохімічних процесів, яка складається з біполярного та МДН- транзисторів та фототранзистора в якості фоточутливого елемента, на основі якої отримано аналітичні залежності для функції перетворення та рівняння чутливості.Разработана математическая модель частотного оптического преобразователя с для контроля плазмохимических процессов, состоящая из биполярного и МДН¬ транзисторов и фототранзистора в качестве фоточувствительного элемента, на основе которой получены аналитические зависимости для функции преобразования и уравнение чувствительности.The mathematical model of microelectronic optical converter composed of bipolar and mosfet transistors with photo transistor as photosensitive element has been developed. On the base of this model analytical dependences of function of transformation and the equation of sensitivity are received.