Дослідження газових напівпровідникових елементів на основі полікристалічних плівок окису цинку

Abstract

В статті представлені дослідження газочутливих напівпровідникових елементів на основі полікристалічних плівок окису цинку. Розроблена фізико-математична модель поверхневих процесів газочутливого елемента на основі окису цинку при дії газового середовища, на основі якої отримана аналітична залежність поверхневої провідності від концентрації діючого газу.