Радіовимірювальний перетворювач тиску з чутливим MEMS конденсатором

Abstract

В статті розглянуто частотний перетворювач тиску на основі біполярно-польової транзисторної структури з від'ємним опором з тензочутливим MEMS конденсатором. Розроблена динамічна математична модель радіовимірювального перетворювача тиску, яка дозволяє визначити значення напруги або струму в будь-якій точці схеми в заданий момент часу при дії тиску. Отримано аналітичні вирази функції перетворення і рівняння чутливості. Чутливість розробленого пристрою складає від 0,98 кГц/кПа до 1,67 кГц/кПа.