Show simple item record

dc.contributor.authorОсадчук, В. С.uk, ru
dc.contributor.authorОсадчук, О. В.uk
dc.contributor.authorКравченко, Ю. С.uk, ru
dc.contributor.authorСелецька, О. О.uk
dc.contributor.authorОсадчук, А. В.ru
dc.contributor.authorСелецкая, Е. А.ru
dc.contributor.authorSeletska, O. O.en
dc.contributor.authorOsadchuk, V. S.en
dc.contributor.authorOsadchuk, O. V.en
dc.contributor.authorKravchenko, Yu. S.en
dc.date.accessioned2017-02-10T06:56:18Z
dc.date.available2017-02-10T06:56:18Z
dc.date.issued2008
dc.identifier.citationЧастотний оптичний перетворювач для контролю плазмохімічних процесів [Текст] / В. С. Осадчук, О. В. Осадчук, Ю. С. Кравченко, О. О. Селецька // Вісник Хмельницького національного університету.Серія "Техніні науки". - № 4. - 2008. - С. 160-163.uk
dc.identifier.urihttp://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/13980
dc.description.abstractЕкспериментально досліджено можливість використання частотного оптичного перетворювача на основі біполярного та польового транзисторів в системі контролю процесу зняття фоторезисту. Дослідження проводились на установці плазмохімічної та іонно-хімічної обробки 08ПХО-125/50-08 (тиск в системі становив 20 Па, потужність – 900 Вт, товщина фоторезисту – 1,5 мкм).uk
dc.description.abstractЭкспериментально исследована возможность использования частотного оптического преобразователя на основе биполярного и полевого транзисторов в системе контроля процесса снятия фоторезиста. Исследования проводились на установке плазмохимической и ионно-химической обработки 08ПХО-125 / 50-08 (давление в системе составлял 20 Па, мощность - 900 Вт, толщина фоторезиста - 1,5 мкм).ru
dc.description.abstractExperimentally investigated the use of frequency optical converter based bipolar transistors and field control system in the process of removing photoresist. Research conducted at the facility for ion-plasma chemical and chemical processing 08PHO-125 / 50-08 (pressure the system was 20 Pa, power - 900 watts, photoresist thickness - 1.5 mm).en
dc.language.isouk_UAuk_UA
dc.publisherХмельницький національний університетuk
dc.relation.ispartofВісник Хмельницького національного університету. № 4: 160-163.uk
dc.relation.ispartofseriesТехнічні наукиuk
dc.subjectоптичний перетворювачuk
dc.subjectбіполярний транзисторuk
dc.subjectпольовий транзисторuk
dc.subjectплазмохімічне травленняuk
dc.subjectоптический преобразовательru
dc.subjectбиполярный транзисторru
dc.subjectполевой транзисторru
dc.subjectплазмохимическое травлениеru
dc.subjectoptical transduceren
dc.subjectbipolar transistoren
dc.subjectmosfet transistoren
dc.subjectplasma chemical etchingen
dc.titleЧастотний оптичний перетворювач для контролю плазмохімічних процесівuk
dc.title.alternativeЧастотный оптический преобразователь для контроля плазмохимических процессовru
dc.title.alternativeFrequency optical converter to monitor plasma-chemical processesen
dc.typeArticle
dc.identifier.udc621.3.049


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record