Мікроелектронний сенсор концентрації газу з частотним виходом

Abstract

В роботі досліджено мікроелектронний сенсор концентрації газу з частотним виходом, який представляє собою автогенераторну схему, що складається з трьох біполярних транзисторів, в коло зворотного зв’язку якої включено газочутливий резистивний елемент. При дії газу на газочутливий резистивний елемент відбувається перетворення зміни концентрації газу на зміну частоти генерації, що значно покращує метрологічні характеристики сенсора. Отримано аналітичні функції перетворення і чутливості сенсора. Чутливість сенсора газу складає 110-61 Гц/ррт.