Частотний перетворювач концентрації газу з чутливим MEMS елементом

Abstract

Переваги мікроелектронних перетворювачів концентрації газу перед традиційними обумовлені, насамперед, застосуванням у них як чутливого елементу напівпровідникового матеріалу, групових методів його обробки і формування в ньому вимірювальних, схем підсилення й обробки сигналу методами мікроелектронної технології.