Частотний перетворювач концентрації газу з чутливим MEMS елементом

Author
Осадчук, О. В.
Осадчук, В. С.
Осадчук, Я. О.
Date
2017
Metadata
Show full item record
Collections
Abstract
Переваги мікроелектронних перетворювачів концентрації газу перед традиційними обумовлені, насамперед, застосуванням у них як чутливого елементу напівпровідникового матеріалу, групових методів його обробки і формування в ньому вимірювальних, схем підсилення й обробки сигналу методами мікроелектронної технології.
URI:
http://ir.lib.vntu.edu.ua//handle/123456789/18448
View/Open