Показати скорочену інформацію

dc.contributor.authorСемчук, О. Ю.uk
dc.contributor.authorГаврилюк, О. О.uk
dc.date.accessioned2016-01-15T13:56:24Z
dc.date.available2016-01-15T13:56:24Z
dc.date.issued2012
dc.identifier.citationСемчук, О. Ю. Теплові ефекти при взаємодії потужного лазерного випромінювання з поверхнею напівпровідникових матеріалів [Текст] / О. Ю. Семчук, О. О. Гаврилюк // Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї. - 2012. - № 2. - С. 127-137.uk
dc.identifier.issn2311-2662
dc.identifier.issn1681-7893
dc.identifier.urihttp://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/282
dc.identifier.urihttp://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/3288
dc.description.abstractДосліджено процес розігріву поверхні твердого тіла кількома лазерними пучками, що створюють на його поверхні одно– та двомірну інтерференційні картини. Показано, що за допомогою інтенсивного лазерного випромінювання можна проводити мікро–нано структурування поверхні напівпровідників. Встановлено, що фемтосекундними лазерними імпульсами можна ефективно прогрівати зразки кристалічного кремнію товщиною до 20 мкм. Ключові слова: лазерне випромінювання, температура, напівпровідник, лазер-індуковані структури, поверхня, наноструктури, абляція.uk
dc.description.abstractThe process of warming-up of surface of solid a few laser beams formative on his surface one and two-dimensional interference pattern is investigated. It is shown that by means of intensive laser radiation it is possible to produce` the surface structures of semiconductors. It is set that femtosecond laser pulse it is possible effectively to heat of crystalline silicon laser in thick to 20 µm.en
dc.language.isouk_UAuk_UA
dc.publisherВНТУuk
dc.subjectлазерне випромінюванняuk
dc.subjectтемператураuk
dc.subjectнапівпровідникuk
dc.subjectлазер-індукованіструктуриuk
dc.subjectповерхняuk
dc.subjectнаноструктуриuk
dc.subjectабляціяuk
dc.subjectлазерное излучениеru
dc.subjectтемператураru
dc.subjectповерхностьru
dc.subjectполупроводникru
dc.subjectлазериндуцированные структурыru
dc.subjectнаноструктурыru
dc.subjectабляцияru
dc.subjectlaser irradiationsen
dc.subjecttemperatureen
dc.subjectsurfaceen
dc.subjectsemiconductoren
dc.subjectlaser-induced structureen
dc.subjectnanostructureen
dc.subjectablationen
dc.titleТеплові ефекти при взаємодії потужного лазерного випромінювання з поверхнею напівпровідникових матеріалівuk
dc.typeArticle
dc.identifier.udc535:537:539:546


Файли в цьому документі

Thumbnail

Даний документ включений в наступну(і) колекцію(ї)

Показати скорочену інформацію