Багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур

Abstract

Розглянуті питання щодо підвищення ефективності контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур за рахунок введення багатоканальних систем реєстрації та обробки спектру власного випромінювання нерівноважної плазми. Проаналізовані принципи побудови таких систем та перспективи їх використання в технологічних умовах.

Рассмотрены вопросы повышения эффективности контроля плазмохимических процессов травления микроструктур за счет введения многоканальных систем регистрации и обработки спектра собственного излучения неравновесной плазмы. Проанализированы принципы построения таких систем и перспективы их использования в технологических условиях.

The problems of improving effective control of plasma etching of microstructures due to the introduction of multichannel systems of recording and processing of the own emission spectrum of a nonequilibrium plasma are considered. The principles of construction of such systems and the prospects for their use in technological terms are analyzed.