Show simple item record

dc.contributor.authorКравченко, С. Ю.uk
dc.contributor.authorКравченко, Ю. С.uk
dc.contributor.authorОсадчук, В. С.uk
dc.date.accessioned2016-01-15T14:02:49Z
dc.date.available2016-01-15T14:02:49Z
dc.date.issued2011
dc.identifier.citationКравченко, С. Ю. Багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур [Текст] / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук // Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї. - 2011. - № 1. - С. 127-135.uk
dc.identifier.issn2311-2662
dc.identifier.issn1681-7893
dc.identifier.urihttp://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/216
dc.identifier.urihttp://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/3349
dc.description.abstractРозглянуті питання щодо підвищення ефективності контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур за рахунок введення багатоканальних систем реєстрації та обробки спектру власного випромінювання нерівноважної плазми. Проаналізовані принципи побудови таких систем та перспективи їх використання в технологічних умовах.uk
dc.description.abstractРассмотрены вопросы повышения эффективности контроля плазмохимических процессов травления микроструктур за счет введения многоканальных систем регистрации и обработки спектра собственного излучения неравновесной плазмы. Проанализированы принципы построения таких систем и перспективы их использования в технологических условиях.ru
dc.description.abstractThe problems of improving effective control of plasma etching of microstructures due to the introduction of multichannel systems of recording and processing of the own emission spectrum of a nonequilibrium plasma are considered. The principles of construction of such systems and the prospects for their use in technological terms are analyzed.en
dc.language.isouk_UAuk_UA
dc.publisherВНТУuk
dc.subjectконтрольuk
dc.subjectбагатоканальні системиuk
dc.subjectспектр випромінюванняuk
dc.subjectплазмаuk
dc.subjectмікропроцесорні системиuk
dc.subjectчастотні перетворювачіuk
dc.titleБагатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктурuk
dc.typeArticle
dc.identifier.udc621.382


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record