Управління процесом формування мікроструктури функціональних покриттів

Abstract

У рамках молекулярної динаміки в роботі розглянуто задачу управління рухом в області перетину Пуанкаре для багатьох взаємодіючих частинок парофазного середовища. Запропонований підхід дає можливість розглянути однопараметричне управління, для переходу від хаотичного режиму до полігармонійного. Вибір значення управляючого параметра дозволяє підтримувати стабільність процесу формування елементів структури покриття, що утворюється за технологією PVD.В рамках молекулярной динамики в работе рассмотрена задача управления движением в области сечения Пуанкаре для многих взаимодействующих частиц парофазной среды. Предложенный подход дает возможность рассмотреть однопараметрическое управление для перехода от хаотического режима к полигармоническому. Выбор значения управляющего параметра позволяет поддерживать стабильность процесса формирования элементов структуры покрытия, осаждаемого по технологии PVD.The problem of motion control of many interacting particles in the Poincare section is discussed in the framework of molecular dynamics. The proposed approach provides an opportunity to consider one-parameter control for the transition from the chaotic to polyharmonic regime. Selecting a control parameter value allows to maintain the stability of the forming process for the coating's structural elements of PVD technology.