• English
    • українська
  • English 
    • English
    • українська
  • Login
View Item 
  • Frontpage
  • Періодичні видання ВНТУ
  • Вісник Вінницького політехнічного інституту
  • Вісник Вінницького політехнічного інституту. 2013. № 5
  • View Item
  • Frontpage
  • Періодичні видання ВНТУ
  • Вісник Вінницького політехнічного інституту
  • Вісник Вінницького політехнічного інституту. 2013. № 5
  • View Item
Сайт інституційного репозитарію ВНТУ містить роботи, матеріали та файли, які були розміщені докторантами, аспірантами та студентами Вінницького Національного Технічного Університету. Для розширення функцій сайту рекомендується увімкнути JavaScript.

Підготовка процесу відновлення трихлорсилану воднем

Author
Реков, Ю. В.
Червоний, І. Ф.
Date
2014-02-06
Metadata
Show full item record
Collections
  • Вісник Вінницького політехнічного інституту. 2013. № 5 [24]
Abstract
Оцінені енергетичні та електричні параметри попереднього нагрівання кремнієвих прутків-підкладок задля генерації носіїв заряду і забезпечення необхідної провідності кремнію при виробництві високочистого полікристалічного кремнію. Обґрунтована доцільність використання легованих кремнієвих прутків-підкладок для виробництва полікристалічного кремнію із заданим рівнем концентрації легувальної домішки з метою підвищення продуктивності виробництва та зниження собівартості полікристалічного кремнію.
 
Оценены энергетические и электрические параметры предварительного нагревания кремниевых прутков-подкладок для генерации носителей заряда и обеспечения необходимой проводимости кремния при производстве высокочистого поликристаллического кремния. Обоснована целесообразность использования легированных кремниевых прутков-подкладок для производства поликристаллического кремния с заданным уровнем концентрации легирующей примеси с целью повышения производительности производства и снижения себестоимости поликристаллического кремния.
 
The results of theoretical studies on the pre-heated rod-substrates to generate their own carriers and provide the necessary conductivity of silicon in the production of high-purity polycrystalline silicon are suggested in the paper. The usage of alloy rod-substrates for the production of polycrystalline silicon with the given level of concentration of the dopant is considered.
 
URI:
http://visnyk.vntu.edu.ua/index.php/visnyk/article/view/1028
http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/6663
View/Open
1027.pdf (515.0Kb)

Institutional Repository

FrontpageSearchHelpContact UsAbout Us

University Resources

JetIQLibrary websiteUniversity websiteE-catalog of VNTU

Browse

All of DSpaceCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsTypePublisherLanguageUdcISSNPublicationDOIThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsTypePublisherLanguageUdcISSNPublicationDOI

My Account

LoginRegister

Statistics

View Usage Statistics

ISSN 2413-6360 | Frontpage | Send Feedback | Help | Contact Us | About Us
© 2016 Vinnytsia National Technical University | Extra plugins code by VNTU Linuxoids | Powered by DSpace
Працює за підтримки 
НТБ ВНТУ