Радіовимірювальні оптичні перетворювачі для мікроелектронної технології

Abstract

В монографії проаналізовано сучасний стан оптичних перетворювачів, подано основи побудови радіовимірювальних оптичних перетворювачів з частотним виходом на основі реактивних властивостей транзисторних стру-ктур з від’ємним опором для визначення часу плазмохімічного травлення. Розглянуто принципи побудови, експериментальні дослідження основних параметрів оптичних перетворювачів. Монографія розрахована на наукових та інженерно-технічних працівників, які займаються проектуванням і розро-бкою мікроелектронних перетворювачів оптичного випромінювання, а та-кож на аспірантів та студентів вищих технічних навчальних закладів.