Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення
Author
Кравченко, Сергій Юрійович
Кравченко, Юрій Степанович
Осадчук, Володимир Степанович
Осадчук, Олександр Володимирович
Кравченко, Сергей Юрьевич
Кравченко, Юрий Степанович
Осадчук, Владимир Степанович
Осадчук, Александр Владимирович
Kravchenko, Serhii Yuriiovych
Kravchenko, Yurii Stepanovych
Osadchuk, Volodymyr Stepanovych
Osadchuk, Oleksandr Volodymyrovych
Date
2007-10-10Metadata
Show full item recordCollections
Abstract
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення, в якому за рахунок введення нових операцій і зв'язків між ними досягається можливість вимірювання малих відносних концентрацій збуджених частинок плазми, що приводить до підвищення чутливості і достовірності контролю цільового процесу. Способ определения момента окончания процесса плазмохимического травления, в котором за счет введения новых операций и связей между ними достигается возможность измерения малых относительных концентраций возбужденных частиц плазмы, что приводит к повышению чувствительности и достоверности контроля целевого процесса. The invention proposes a method for determination of the process finishing point of plasmochemical etching. Due to introduction of new procedures and relations between them it is achieved possibility for measuring small relative concentration of excited plasma particles that leads to sensitivity enhancement and increase of control reliability of target process.
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/12926