Радіовимірювальний мікроелектронний перетворювач тиску

Abstract

Проблема створення системи уніфікованих твердотільних перетворювачів з високими метрологічними характеристиками і вихідним сигналом, перетвореним у форму коду з незначними похибками дуже актуальна. Одним із закономірних шляхів її вирішення можна по праву вважати використання реактивних властивостей напівпровідникових структур для побудови частотних первинних вимірювальних перетворювачів різних фізичних велечин, зокрема тиску