Радіаційно-стимульовані процеси в кремнієвих транзисторних термосенсорах

Abstract

Серед усього різноманіття датчиків фізичних величин особливої уваги заслуговують сенсори температури. Вони працюють за різними фізичними принципами, виготовляються з різних матеріалів і можуть використовуватися у екстремальних умовах. Останнім часом, найбільш перспективними вважаються напівпровідникові сенсори на базі діодних і транзисторних p-n-структур.