Мікроелектронні перетворювачі тиску

Abstract

Переваги мікроелектронних перетворювачів перед традиційними обумовлені, насамперед, застосуванням у них як чутливого елементу напівпровідникового матеріалу, групових методів його обробки і формування в ньому вимірювальних й інших схем підсилення й обробки сигналу методами мікроелектронної технології.