Частотний оптичний перетворювач для контролю плазмохімічних процесів
Вантажиться...
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
DOI
Анотація
Experimentally investigated the use of frequency optical converter
based bipolar transistors and field control system in the process of removing photoresist.
Research conducted at the facility for ion-plasma chemical and chemical processing 08PHO-125 / 50-08 (pressure
the system was 20 Pa, power - 900 watts, photoresist thickness - 1.5 mm).
Опис
Ключові слова
УДК
Тип документа
Мова
ISSN
Бібліографічний опис
Частотний оптичний перетворювач для контролю плазмохімічних процесів [Текст] / В. С. Осадчук, О. В. Осадчук, Ю. С. Кравченко, О. О. Селецька // Вісник Хмельницького національного університету.Серія "Техніні науки". - № 4. - 2008. - С. 160-163.