Частотний оптичний перетворювач для контролю плазмохімічних процесів
Author
Осадчук, В. С.
Осадчук, О. В.
Кравченко, Ю. С.
Селецька, О. О.
Осадчук, А. В.
Селецкая, Е. А.
Seletska, O. O.
Osadchuk, V. S.
Osadchuk, O. V.
Kravchenko, Yu. S.
Date
2008Metadata
Show full item recordCollections
- Наукові роботи каф. ІРТС [779]
Abstract
Експериментально досліджено можливість використання частотного оптичного перетворювача на
основі біполярного та польового транзисторів в системі контролю процесу зняття фоторезисту.
Дослідження проводились на установці плазмохімічної та іонно-хімічної обробки 08ПХО-125/50-08 (тиск в
системі становив 20 Па, потужність – 900 Вт, товщина фоторезисту – 1,5 мкм). Экспериментально исследована возможность использования частотного оптического преобразователя на
основе биполярного и полевого транзисторов в системе контроля процесса снятия фоторезиста.
Исследования проводились на установке плазмохимической и ионно-химической обработки 08ПХО-125 / 50-08 (давление в
системе составлял 20 Па, мощность - 900 Вт, толщина фоторезиста - 1,5 мкм). Experimentally investigated the use of frequency optical converter
based bipolar transistors and field control system in the process of removing photoresist.
Research conducted at the facility for ion-plasma chemical and chemical processing 08PHO-125 / 50-08 (pressure
the system was 20 Pa, power - 900 watts, photoresist thickness - 1.5 mm).
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/13980