• English
    • українська
  • українська 
    • English
    • українська
  • Увійти
Дивитися документ 
  • Головна
  • Факультет інформаційних електронних систем
  • Кафедра інформаційних радіоелектронних технологій і систем
  • Наукові роботи каф. ІРТС
  • Дивитися документ
  • Головна
  • Факультет інформаційних електронних систем
  • Кафедра інформаційних радіоелектронних технологій і систем
  • Наукові роботи каф. ІРТС
  • Дивитися документ
Сайт інституційного репозитарію ВНТУ містить роботи, матеріали та файли, які були розміщені докторантами, аспірантами та студентами Вінницького Національного Технічного Університету. Для розширення функцій сайту рекомендується увімкнути JavaScript.

Частотний оптичний перетворювач для контролю плазмохімічних процесів

Автор
Осадчук, В. С.
Осадчук, О. В.
Кравченко, Ю. С.
Селецька, О. О.
Осадчук, А. В.
Селецкая, Е. А.
Seletska, O. O.
Osadchuk, V. S.
Osadchuk, O. V.
Kravchenko, Yu. S.
Дата
2008
Metadata
Показати повну інформацію
Collections
  • Наукові роботи каф. ІРТС [790]
Анотації
Експериментально досліджено можливість використання частотного оптичного перетворювача на основі біполярного та польового транзисторів в системі контролю процесу зняття фоторезисту. Дослідження проводились на установці плазмохімічної та іонно-хімічної обробки 08ПХО-125/50-08 (тиск в системі становив 20 Па, потужність – 900 Вт, товщина фоторезисту – 1,5 мкм).
 
Экспериментально исследована возможность использования частотного оптического преобразователя на основе биполярного и полевого транзисторов в системе контроля процесса снятия фоторезиста. Исследования проводились на установке плазмохимической и ионно-химической обработки 08ПХО-125 / 50-08 (давление в системе составлял 20 Па, мощность - 900 Вт, толщина фоторезиста - 1,5 мкм).
 
Experimentally investigated the use of frequency optical converter based bipolar transistors and field control system in the process of removing photoresist. Research conducted at the facility for ion-plasma chemical and chemical processing 08PHO-125 / 50-08 (pressure the system was 20 Pa, power - 900 watts, photoresist thickness - 1.5 mm).
 
URI:
http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/13980
Відкрити
SELETSKA_#4_HNU_08.pdf (4.658Mb)

Інституційний репозиторій

ГоловнаПошукДовідкаКонтактиПро нас

Ресурси

JetIQСайт бібліотекиСайт університетаЕлектронний каталог ВНТУ

Перегляд

Всі архівиСпільноти та колекціїЗа датою публікаціїАвторамиНазвамиТемамиТипВидавництвоМоваУДКISSNВидання, що міститьDOIЦя колекціяЗа датою публікаціїАвторамиНазвамиТемамиТипВидавництвоМоваУДКISSNВидання, що міститьDOI

Мій обліковий запис

ВхідРеєстрація

Статистика

View Usage Statistics

ISSN 2413-6360 | Головна | Відправити відгук | Довідка | Контакти | Про нас
© 2016 Vinnytsia National Technical University | Extra plugins code by VNTU Linuxoids | Powered by DSpace
Працює за підтримки 
НТБ ВНТУ