Радіовимірювальний перетворювач тиску з MEMS чутливим елементом

Abstract

У даній роботі представлені дослідження радіовимірювального перетворювача тиску на основі реактивних властивостей біполярних транзисторів з чутливим MEMS елементом. Отримано аналітичні залежності функції перетворення й рівняння чутливості. Теоретичні й експериментальні дослідження показали, що чутливість розробленого радіовимірювального перетворювача тиску становить 650 Гц/кПа.