Мікроелектронні сигнальні перетворювачі теплових сенсорів потоку

Abstract

В монографії розглядаються наукові проблеми розробки інтегральних сигнальних перетворювачів для мікроелектронних теплових сенсорів пото- ку біомедичного призначення, зокрема, в пристроях вимірювання парамет- рів дихальної системи, біохімічного аналізу, технологічних процесах фар- макології тощо. Пропонуються нові підходи до їх електротеплового моде- лювання та запропоновано низку сигнальних перетворювачів теплових се- нсорів потоку, що базуються на новітній мікроелектронній елементній базі. Монографія розрахована на фахівців, які працюють в галузі мікроеле- ктроніки, а також може бути корисною студентам і аспірантам відповідно- го спрямування.