Анализ основных закономерностей изменения свойств вакуумных ионно-плазменных покрытий элементов конструкций от технологических параметров их формирования

Abstract

Об'єкт дослідження- закономірності зміни властивостей вакуумних іонно-плазмових покриттів елементів конструкцій.

Мета роботи-розробка схеми процесу формування іонно-плазмових покриттів із заданим рівнем їх експлуатаційних властивостей.

Проведено аналіз основних закономірностей зміни властивостей вакуумних іонно-плазмових покриттів елементів конструкцій від технологічних параметрів їх формування. Показано переваги створення поверхневого зміцнення деталей вакуумними іонно-плазмовими методами: магнетронно-іонного розпилення і конденсації з іонним бомбардуванням, синтезовані схеми формування експлуатаційних властивостей іонно-плазмових покриттів різного функціонального призначення і схема процесу їх формування із заданим рівнем експлуатаційних властивостей.

Объект исследования – закономерности изменения свойств вакуумных ионно-плазменных покрытий элементов конструкций.

Цель работы – разработка схемы процесса формирования ионно-плазменных покрытий с заданным уровнем их эксплуатационных свойств.

Проведен анализ основных закономерностей изменения свойств вакуумных ионно-плазменных покрытий элементов конструкций от технологических параметров их формирования. Показаны преимущества создания поверхностного упрочнения деталей вакуумными ионно-плазменными методами: магнетронно-ионного распыления и конденсации с ионной бомбардировкой, синтезированы схемы формирования эксплуатационных свойств ионно-плазменных покрытий различного функционального назначения и схема процесса их формирования с заданным уровнем эксплуатационных свойств.

The object of research is changing patterns of properties of vacuum ion-plasma coating structural elements.

The purpose of work-development scheme of the formation of ion-plasma coatings with a given level of performance properties.

The analysis of the basic laws of changing the properties of vacuum ion-plasma coating structural elements of the technological parameters of their formation. The advantages of creating a surface hardening of parts by vacuum ion-plasma methods: magnetron sputtering and condensation with ion bombardment, synthesized generating circuit performance properties of ion-plasma coatings of various functional purpose and scheme of the process of their formation with a given performance level.