Побудова моделі п’єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п’єзоелементів
| dc.contributor.author | Філімонов, С. О. | uk |
| dc.date.accessioned | 2016-01-15T14:17:28Z | |
| dc.date.available | 2016-01-15T14:17:28Z | |
| dc.date.issued | 2008 | |
| dc.identifier.citation | Філімонов, С. О. Побудова моделі п’єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п’єзоелементів [Текст] / С. О. Філімонов // Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї. - 2008. - № 2. - С. 126-129. | uk |
| dc.identifier.issn | 2311-2662 | |
| dc.identifier.issn | 1681-7893 | |
| dc.identifier.uri | http://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/51 | |
| dc.identifier.uri | http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/3510 | |
| dc.description.abstract | Стаття присвячена проблемам створення п’єзосканерів. Запропонована і досліджена конструкція п’єзокерамічного сканера для наномікроскопів на основі біморфних п’єзоелементів. Побудована і досліджена модель цього сканера за допомогою пакету програми FemLab 3.2. | uk |
| dc.description.abstract | Статья посвящена проблемам создания пьезосканеров. Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе биморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель этого сканера при помощи пакета программы FemLab 3.2. | ru |
| dc.language.iso | uk_UA | uk_UA |
| dc.publisher | ВНТУ | uk |
| dc.subject | нанотехнологія | uk |
| dc.subject | зондовий наномікроскоп | uk |
| dc.subject | п’єзокерамічний сканер | uk |
| dc.subject | FemLab | uk |
| dc.title | Побудова моделі п’єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п’єзоелементів | uk |
| dc.type | Article | |
| dc.identifier.udc | 681.586 |