Сенсори тиску на основі тензочутливих напівпровідникових елементів

Abstract

Проаналізовано напівпровідникові тензочутливі елементи: тензорезистори, тензодіоди, тензотранзистори, які покладено в основу сенсорів тиску, а також напівпровідникові сенсори тиску з частотним виходом на основі цих елементів. Показано вплив дії тиску на дослідженні напівпровідникові структури.