Обґрунтування робочих параметрів систем створення мікроклімату чистих приміщень в галузі мікроелектроніки
Вантажиться...
Файли
Дата
Автори
Науковий керівник
Редактор
Інші учасники
Відповідальний
ORCID
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
DOI
Альтернативна назва
Анотація
У даній доповіді розглядаються питання створення детального аналіз основного принципу забезпечення параметрів моніторингу системи кондиціонування та фільтрації чистих приміщень мікроелектроніки.
This report addresses the issues of creating a detailed analysis of the basic principle of providing parameters for monitoring the air conditioning and filtration system of clean rooms of microelectronics.
This report addresses the issues of creating a detailed analysis of the basic principle of providing parameters for monitoring the air conditioning and filtration system of clean rooms of microelectronics.
Опис
Ключові слова
Кондиціонування , фільтрація , мікроелектроніка , Conditioning , filtration , microelectronicsАктуальність дослідженьМікроелектроніка відноситься до числа високотехнологічних галузей промисловості і є на сьогоднішнійдень надзвичайно важливим напрямом розвитку науково-технічного прогресу , що визначає економічну , виробничу , інформаційну та екологічну безпеку
УДК
Тип документа
Мова
ISSN
Посилання на публікацію
Серія, номер
ISBN
ББК
Інші ідентифікатори
Пов’язані матеріали
Спонсорська підтримка
Правовласник
Бібліографічний опис
Гашинська(Аніпченко) А. С. Обґрунтування робочих параметрів систем створення мікроклімату чистих приміщень в галузі мікроелектроніки [Електронний ресурс] / А. С. Гашинська(Аніпченко) // Тези доповідей Всеукраїнської науково-практичної Інтернет-конференції студентів, аспірантів та молодих науковців «Молодь в науці: дослідження, проблеми, перспективи» (МН-2019), м. Вінниця, 11-30 травня 2019 р. – Електрон. текст. дані. – 2019. – Режим доступу: https://conferences.vntu.edu.ua/index.php/mn/mn2019/paper/view/6365.