Show simple item record

dc.contributor.authorКравченко, Ю. С.uk
dc.contributor.authorОсадчук, В. С.uk
dc.contributor.authorКравченко, С. Ю.uk
dc.date.accessioned2016-01-26T14:26:48Z
dc.date.available2016-01-26T14:26:48Z
dc.date.issued2007
dc.identifier.citationКравченко Ю. С. Шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами [Текст] / Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, С. Ю. Кравченко // Вісник Вінницького політехнічного інституту. - 2007. - № 6. - С. 119-125.uk
dc.identifier.issn1997-9274
dc.identifier.issn1997-9266
dc.identifier.urihttp://visnyk.vntu.edu.ua/index.php/visnyk/article/view/545
dc.identifier.urihttp://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/5754
dc.description.abstractПроаналізовано шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами в мікроелектронній технології за рахунок впровадження нових підходів в реалізації контролю на основі сучасних досягнень в цій області, а також побудови систем управління в реальному часі, розробки сучасних контролерів на основі використання моделі процесу з використанням сучасних сенсорів в колі зворотного зв’язку, розробки нових типів контролерів управління.uk
dc.description.abstractПроанализированы пути повышения еффективности контроля и управленния плазмохимимческими процессами в микроэлектронной технологии за счет внедрения новых подходов к реализации контроля на основе современных достижений в этой области, а также пострению систем управления в реальном времени, разработке современных контроллеров на основе модели процесса с использованием современных сенсоров в цепи обратной связи, разработке новых типов контроллеров управления.ru
dc.description.abstractThe given paper analyses the ways aimed at improvement of control efficiency of plasma chemical processes in microelectronic technologies due to introduction of new approaches in realization of monitoring base on modern achievements in this field, as well as construction of control systems in real-time, development of modern controllers on the base of usage of process model applying modern sensors in feedback circuit , development of the new types of controller.en
dc.language.isouk_UAuk_UA
dc.publisherВНТУuk
dc.titleШляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесамиuk
dc.title.alternativeThe problem of increasing the efficiency of monitoring and control of plasma chemical processen
dc.title.alternativeПути повышения эффективности контроля и управления плазмохимическими процессамиru
dc.typeArticle
dc.identifier.udc621.382


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record