Мікроелектронний чотиризондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору

Abstract

Мікроелектронний чотиризондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору містить котушку індуктивності і ємність, яка підключена до джерела живлення. В нього введено чотири зонди, друге джерело живлення, два резистори, біполярний транзистор та польовий транзистор.Микроэлектронное четырехзондовое устройство для измерения полупроводникового сопротивления содержит катушку индуктивности и емкость, которая подключена к источнику питания. В него введены четыре зонда, второй источник питания, два резистора, биполярный транзистор и полевой транзистор.A microelectronic four-probe device for measurement of semiconductor resistance comprises an inductance coil and a capacitor connected to a power source. Four probes, a second power source, two resistors, a bipolar transistor and a field-effect transistor are incorporated.