Принципи вимірювання відносної вологості газів атмосферного і пониженого тиску

Abstract

Проаналізовано класифікацію методів визначення вологості атмосферного повітря і технологічних газів, а також розглянуто типові конструкції сенсорів вологості газових середовищ, які працюють на основі описаних методів. Запропоновано конструкцію первинного перетворювача вологості на основі МДНструктури, в якій чутливим елементом виступає шар пористого окису кремнія.

The methods of moisture definition in atmosphere air and technological gases are analyzed, the moisture sensors constructions, based on these methods are observed. The construction of the primary moisture­sensing element based on MDS­structure with film of porous silicone is suggested