Спосіб плазмового травлення в хлоровуглецевій плазмі
Вантажиться...
Файли
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
DOI
Анотація
A method for plasma etching in chlorocarbon plasma is proposed. The method comprises performing etching in plasma produced by a high-frequency electromagnetic field in a reaction chamber with low gas pressure and a mixture of the main gas-reagent.
Опис
УДК
Тип документа
Мова
Є частиною
ISSN
Бібліографічний опис
Пат. 79431 UA, МПК H01L 21/306. Спосіб плазмового травлення в хлоровуглецевій плазмі [Текст] / Ю. С. Кравченко, С. Ю. Кравченко (Україна). - № u201211051 ; заявл. 24.09.2012 ; опубл. 25.04.2013, Бюл. № 8. - 4 с. : кресл.