• English
    • русский
    • українська
  • English 
    • English
    • русский
    • українська
  • Login
View Item 
  • Frontpage
  • Патенти, авторські свідоцтва
  • Факультет інформаційних електронних систем
  • View Item
  • Frontpage
  • Патенти, авторські свідоцтва
  • Факультет інформаційних електронних систем
  • View Item
Сайт інституційного репозитарію ВНТУ містить роботи, матеріали та файли, які були розміщені докторантами, аспірантами та студентами Вінницького Національного Технічного Університету. Для розширення функцій сайту рекомендується увімкнути JavaScript.

Спосіб плазмового травлення в хлоровуглецевій плазмі

Author
Кравченко, Юрій Степанович
Кравченко, Сергій Юрійович
Кравченко, Юрий Степанович
Кравченко, Сергей Юрьевич
Kravchenko, Yurii Stepanovych
Kravchenko, Serhii Yuriiovych
Date
2013-04-25
Metadata
Show full item record
Collections
  • Факультет інформаційних електронних систем [640]
Abstract
Спосіб плазмового травлення в хлоровуглецевій плазмі, при якому травлення проводять у плазмі, яку одержують високочастотним електромагнітним полем в реакційній камері при пониженому тиску газу та суміші основного газу-реагенту.
 
Способ плазменного травления в хлоруглеродной плазме, при котором травление проводят в плазме, получаемой высокочастотным электромагнитным полем в реакционной камере при пониженном давлении газа и смеси основного газа-реагента.
 
A method for plasma etching in chlorocarbon plasma is proposed. The method comprises performing etching in plasma produced by a high-frequency electromagnetic field in a reaction chamber with low gas pressure and a mixture of the main gas-reagent.
 
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/172
View/Open
79431.pdf (210.0Kb)

Institutional Repository

FrontpageSearchHelpContact UsAbout Us

University Resources

JetIQLibrary websiteUniversity websiteE-catalog of VNTU

Browse

All of DSpaceCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsTypePublisherLanguageUdcISSNPublicationDOIThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsTypePublisherLanguageUdcISSNPublicationDOI

My Account

LoginRegister

Statistics

View Usage Statistics

ISSN 2413-6360 | Frontpage | Send Feedback | Help | Contact Us | About Us
© 2016 Vinnytsia National Technical University | Extra plugins code by VNTU Linuxoids | Powered by DSpace
Працює за підтримки 
НТБ ВНТУ