Мікроелектронний чотиризондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору
Вантажиться...
Файли
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
DOI
Анотація
A microelectronic four-probe device for measuring semiconductor resistance comprises an inductance coil connected to a power source. Four probes are introduced. The second and third probes are connected to a bipolar transistor. The first and fourth probes are connected to the first power source.
Опис
УДК
Тип документа
Мова
Є частиною
ISSN
Бібліографічний опис
Пат. 76387 UA, МПК H01L 21/66, G01R 31/26. Мікроелектронний чотиризондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору [Текст] / Ю. І. Нікешин, О. В. Осадчук (Україна). - № u201203166 ; заявл. 19.03.2012 ; опубл. 10.01.2013, Бюл. № 1. - 4 с. : кресл.