Мікроелектронний чотиризондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору

Abstract

Мікроелектронний чотиризондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору містить котушку індуктивності, яка підключена до джерела живлення. Введено чотири зонди. Другий та третій з'єднані з біполярним транзистором. Перший та четвертий з'єднані з першим джерелом живлення.Микроэлектронное четырехзондовое устройство для измерения полупроводникового сопротивления содержит катушку индуктивности, подключенную к источнику питания. Введены четыре зонда. Второй и третий соединены с биполярным транзистором. Первый и четвертый соединены с первым источником питания.A microelectronic four-probe device for measuring semiconductor resistance comprises an inductance coil connected to a power source. Four probes are introduced. The second and third probes are connected to a bipolar transistor. The first and fourth probes are connected to the first power source.