Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
Вантажиться...
Файли
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
DOI
Анотація
The invention proposes a device for determination of the process finishing point of plasma etching. Due to introduction of new elements it is achieved possibility for sensitivity enhancement and control reliability due to possibility for measuring of small relative concentration of excited plasma particles.
Опис
Ключові слова
УДК
Тип документа
Мова
Є частиною
ISSN
Бібліографічний опис
Пат. 26975 UA, МПК H01L 21/302. Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення [Текст] / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, О. В. Осадчук (Україна). - № u200706552 ; заявл. 11.06.2007 ; опубл. 10.10.2007, Бюл. № 19. - 2 с. : кресл.