Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення
Вантажиться...
Файли
Дата
Науковий керівник
Редактор
Інші учасники
Відповідальний
ORCID
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
DOI
Альтернативна назва
Способ определения момента окончания процесса плазмохимического травления
Method for determination of finishing plasmochemical etching process
Method for determination of finishing plasmochemical etching process
Анотація
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення належить до області електронної техніки і може бути використаний для контролю плазмохімічних процесів в різноманітних пристроях автоматичного керування технологічними процесами.
Опис
УДК
Тип документа
Мова
Є частиною
ISSN
Посилання на публікацію
Серія, номер
ISBN
ББК
Інші ідентифікатори
Пов’язані матеріали
Спонсорська підтримка
Правовласник
Бібліографічний опис
Пат. 31519 UA, МПК H01L 21/302. Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення [Текст] / Ю. С. Кравченко, Д. П. Дудник (Україна). - № u200714245 ; заявл. 17.12.2007 ; опубл. 10.04.2008, Бюл. № 7. - 2 с. : кресл.