<link rel="stylesheet" href="styles.f3b1fba60ec7970c.css">

Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКравченко, Юрій Степановичuk
dc.contributor.authorДудник, Дмитро Петровичuk
dc.contributor.authorKravchenko, Yurii Stepanovychen
dc.contributor.authorDudnyk, Dmytro Petrovychen
dc.titleСпосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травленняuk
dc.title.alternativeСпособ определения момента окончания процесса плазмохимического травленияru
dc.title.alternativeMethod for determination of finishing plasmochemical etching processen
dc.date.issued2008-04-10
dc.publisherДержавне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ)uk
dc.identifier.citationПат. 31519 UA, МПК H01L 21/302. Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення [Текст] / Ю. С. Кравченко, Д. П. Дудник (Україна). - № u200714245 ; заявл. 17.12.2007 ; опубл. 10.04.2008, Бюл. № 7. - 2 с. : кресл.uk
dc.identifier.urihttp://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/11415
dc.description.abstractСпосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення належить до області електронної техніки і може бути використаний для контролю плазмохімічних процесів в різноманітних пристроях автоматичного керування технологічними процесами.uk
dc.subjectH01L 21/302
dc.subjectелектронна технікаuk
dc.subjectконтроль плазмохімічних процесівuk
dc.subjectавтоматичне керування технологічними процесамиuk
dc.subjectплазмохімічне травлення мікроструктурuk
dc.typePatent
dc.language.isoukuk
dc.date.accessioned2016-05-27T12:36:32Z
dc.date.available2016-05-27T12:36:32Z

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
31519.pdf
Розмір:
88,56 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
2,14 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Факультет інформаційних електронних систем