Оптичний мікроелектронний перетворювач з активним індуктивним елементом для контролю плазмохімічних процесів
Вантажиться...
Файли
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
DOI
Анотація
Mathematical model of microelectronic optical converter with active inductive element for control of plasmochemical processes has been developed. On the base of this model analytical dependences for transformation function and the equation of sensitivity are obtained.
Опис
УДК
Тип документа
Мова
Є частиною
Бібліографічний опис
Оптичний мікроелектронний перетворювач з активним індуктивним елементом для контролю плазмохімічних процесів [Текст] / В. С. Осадчук, О. В. Осадчук, Ю. С. Кравченко, O. O. Селецька // Вісник Вінницького політехнічного інституту. - 2009. - № 6. - С. 94-100.