Оптичний мікроелектронний перетворювач з активним індуктивним елементом для контролю плазмохімічних процесів

Abstract

Розроблено математичну модель мікроелектронного оптичного перетворювача з активним індуктивним елементом, призначеного для контролю плазмохімічних процесів. На основі моделі отримано аналітичні залежності для функції перетворення та рівняння чутливості.Разработана математическая модель микроэлектронного оптического преобразователя с активным индуктивным элементом, предназначенного для контроля плазмохимических процессов. На основании модели получены аналитические зависимости для функции преобразования и уравнение чувствительности.Mathematical model of microelectronic optical converter with active inductive element for control of plasmochemical processes has been developed. On the base of this model analytical dependences for transformation function and the equation of sensitivity are obtained.