Радіовимірювальний сенсор тиску з частотним виходом на основі двоколекторного тензотранзистора

Abstract

Запропонована конструкція радіовимірювального мікроелектронного сенсора тиску з частотним вихідним сигналом, яка складається з біполярного двоколекторного тензотранзистора і двозатвор-ного польового транзистора, що утворюють автогенераторний пристрій. На основі розв’язку рів-няння коливальної системи автогенераторного пристрою сенсора отримано функцію перетворення, що описує залежність резонансної частоти від тиску, та рівняння чутливості. Чутливість сенсора тиску лежить в діапазоні від 1,12 кГц/кПа до 0,65 кГц/кПа.Предложена конструкция радиоизмерительного микроэлектронного сенсора давления с частотным выход- ным сигналом, состоящая из биполярного двухколлекторного тензотранзистора и двухзатворного полевого транзистора, которые образуют автогенераторное устройство. На основе решения уравнения колебательной системы автогенераторного сенсорного устройства получена функция преобразования, описывающая зависи- мость резонансной частоты от давления, и уравнение чувствительности. Чувствительность сенсора давле- ния находится в диапазоне от 1,12 кГц/кПа до 0,65 кГц/кПа.The design of radio-measuring microelectronic sensor of pressure with a frequency output, which consists of two collector bipolar tenzotransistors and two gate field-effect transistor, which constitute autogenerating device. On the basis of solutions of oscillatory system of autogenerating sensor device the conversion function is obtained, which describes the dependence of the resonance frequency of the pressure, and the equation of sensitivity. The sensitivity of the pressure sensor is in the range of 1.12 kHz/kPa to 0.65 kHz/kPa.