Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
| dc.contributor.author | Кравченко, Юрій Степанович | uk |
| dc.contributor.author | Даниленко, Олена Олександрівна | uk |
| dc.contributor.author | Kravchenko, Yurii Stepanovych | en |
| dc.title | Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення | uk |
| dc.title.alternative | Устройство для определения момента времени завершения процесса плазменного травления | ru |
| dc.title.alternative | Device for determining the end of plasma etching process | en |
| dc.date.issued | 2005-01-17 | |
| dc.publisher | Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ) | uk |
| dc.identifier.citation | Пат. 4413 UA, МПК H01L 21/302. Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення [Текст] / С. Ю. Кравченко, О. О. Даниленко (Україна). - № u20040503420 ; заявл. 06.05.2004 ; опубл. 17.01.2005, Бюл. № 1. - 2 с. : кресл. | uk |
| dc.identifier | 4413 | |
| dc.identifier.uri | http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/2586 | |
| dc.description.abstract | Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення містить вузькосмуговий інтерференційний фільтр, фотоперетворювач, фотодіод, резистор, біполярний та польовий транзистори, індуктивність, ємність і два джерела постійної напруги. | uk |
| dc.description.abstract | Предлагаемое устройство для определения момента времени завершения процесса плазменного травления содержит узкополосный интерференционный фильтр, фотоэлектрический преобразователь, фотодиод, резистор, биполярный и полевой транзисторы, катушку индуктивности и два источника постоянного напряжения. | ru |
| dc.description.abstract | The proposed device for determining the end of plasma etching process contains a narrow-band interference filter, a photoelectric converter, a photodiode, a resistor, a bipolar transistor, a field-effect transistor, an inductance coil, and two direct voltage sources. | en |
| dc.subject | HO1L 21/3O2 | |
| dc.subject | електронна техніка | uk |
| dc.subject | контроль плазмових процесів | uk |
| dc.subject | автоматичне керування технологічними процесами | uk |
| dc.type | Patent | |
| dc.language.iso | uk | uk |
| dc.date.accessioned | 2015-12-10T08:04:10Z | |
| dc.date.available | 2015-12-10T08:04:10Z |
Файли
Контейнер файлів
1 - 1 з 1
Вантажиться...
- Назва:
- 4413.pdf
- Розмір:
- 110,33 KB
- Формат:
- Adobe Portable Document Format
- Опис:
Ліцензійна угода
1 - 1 з 1
Вантажиться...
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 2,14 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: