Частотний оптичний перетворювач для контролю плазмохімічних процесів

Abstract

Експериментально досліджено можливість використання частотного оптичного перетворювача на основі біполярного та польового транзисторів в системі контролю процесу зняття фоторезисту. Дослідження проводились на установці плазмохімічної та іонно-хімічної обробки 08ПХО-125/50-08 (тиск в системі становив 20 Па, потужність – 900 Вт, товщина фоторезисту – 1,5 мкм).Экспериментально исследована возможность использования частотного оптического преобразователя на основе биполярного и полевого транзисторов в системе контроля процесса снятия фоторезиста. Исследования проводились на установке плазмохимической и ионно-химической обработки 08ПХО-125 / 50-08 (давление в системе составлял 20 Па, мощность - 900 Вт, толщина фоторезиста - 1,5 мкм).Experimentally investigated the use of frequency optical converter based bipolar transistors and field control system in the process of removing photoresist. Research conducted at the facility for ion-plasma chemical and chemical processing 08PHO-125 / 50-08 (pressure the system was 20 Pa, power - 900 watts, photoresist thickness - 1.5 mm).