<link rel="stylesheet" href="styles.f3b1fba60ec7970c.css">

Частотний оптичний перетворювач для контролю плазмохімічних процесів

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorSeletska, O. O.en
dc.contributor.authorOsadchuk, V. S.en
dc.contributor.authorOsadchuk, O. V.en
dc.contributor.authorKravchenko, Yu. S.en
dc.date.accessioned2017-02-10T06:56:18Z
dc.date.available2017-02-10T06:56:18Z
dc.date.issued2008
dc.description.abstractExperimentally investigated the use of frequency optical converter based bipolar transistors and field control system in the process of removing photoresist. Research conducted at the facility for ion-plasma chemical and chemical processing 08PHO-125 / 50-08 (pressure the system was 20 Pa, power - 900 watts, photoresist thickness - 1.5 mm).en
dc.identifier.citationЧастотний оптичний перетворювач для контролю плазмохімічних процесів [Текст] / В. С. Осадчук, О. В. Осадчук, Ю. С. Кравченко, О. О. Селецька // Вісник Хмельницького національного університету.Серія "Техніні науки". - № 4. - 2008. - С. 160-163.uk
dc.identifier.udc621.3.049
dc.identifier.urihttp://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/13980
dc.language.isouk_UAuk_UA
dc.publisherХмельницький національний університетuk
dc.relation.ispartofВісник Хмельницького національного університету. № 4: 160-163.uk
dc.relation.ispartofseriesТехнічні наукиuk
dc.subjectoptical transduceren
dc.subjectbipolar transistoren
dc.subjectmosfet transistoren
dc.subjectplasma chemical etchingen
dc.titleЧастотний оптичний перетворювач для контролю плазмохімічних процесівuk
dc.title.alternativeFrequency optical converter to monitor plasma-chemical processesen
dc.typeArticle

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
SELETSKA_#4_HNU_08.pdf
Розмір:
4,66 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
2,14 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Наукові видання каф. ІРТС