Багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур
| dc.contributor.author | Кравченко, С. Ю. | uk |
| dc.contributor.author | Кравченко, Ю. С. | uk |
| dc.contributor.author | Осадчук, В. С. | uk |
| dc.date.accessioned | 2016-01-15T14:02:49Z | |
| dc.date.available | 2016-01-15T14:02:49Z | |
| dc.date.issued | 2011 | |
| dc.description.abstract | The problems of improving effective control of plasma etching of microstructures due to the introduction of multichannel systems of recording and processing of the own emission spectrum of a nonequilibrium plasma are considered. The principles of construction of such systems and the prospects for their use in technological terms are analyzed. | en |
| dc.identifier.citation | Кравченко, С. Ю. Багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур [Текст] / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук // Оптико-електроннi iнформацiйно-енергетичнi технологiї. - 2011. - № 1. - С. 127-135. | uk |
| dc.identifier.issn | 2311-2662 | |
| dc.identifier.issn | 1681-7893 | |
| dc.identifier.udc | 621.382 | |
| dc.identifier.uri | http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/3349 | |
| dc.language.iso | uk_UA | uk_UA |
| dc.publisher | Вінницький національний технічний університет | uk |
| dc.relation.uri | http://oeipt.vntu.edu.ua/index.php/oeipt/article/view/216 | |
| dc.subject | контроль | uk |
| dc.subject | багатоканальні системи | uk |
| dc.subject | спектр випромінювання | uk |
| dc.subject | плазма | uk |
| dc.subject | мікропроцесорні системи | uk |
| dc.subject | частотні перетворювачі | uk |
| dc.title | Багатоканальні системи для оптичного емісійно-спектрального контролю плазмохімічних процесів травлення мікроструктур | uk |
| dc.type | Article |
Файли
Контейнер файлів
1 - 1 з 1
Ліцензійна угода
1 - 1 з 1