Мікроелектронний тензометричний перетворювач
Вантажиться...
Файли
Дата
Науковий керівник
Редактор
Інші учасники
Відповідальний
ORCID
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
DOI
Альтернативна назва
Microelectronic strain-gauge transducer
Анотація
The paper analyzes modern achievements in the field of microelectronic strain-sensitive transducers. The physical mechanism of pressure action on semiconductors is investigated. The metrological parameters of strain-sensitive pressure transducers are estimated.
У роботі здійснено аналіз сучасних досягнень в області мікроелектронних тензочутливих перетворювачів. Досліджено фізичний механізм дії тиску на напівпровідники. Виконано оцінювання метрологічних параметрів тензочутливих перетворювачів тиску
У роботі здійснено аналіз сучасних досягнень в області мікроелектронних тензочутливих перетворювачів. Досліджено фізичний механізм дії тиску на напівпровідники. Виконано оцінювання метрологічних параметрів тензочутливих перетворювачів тиску
Опис
Ключові слова
УДК
Тип документа
Мова
ISSN
Посилання на публікацію
Серія, номер
ISBN
ББК
Інші ідентифікатори
Пов’язані матеріали
Спонсорська підтримка
Правовласник
Бібліографічний опис
Семенов А. О., Онищук О. В., Пурик С. с., Чаленко В. Ю. Мікроелектронний тензометричний перетворювач. Матеріали IX Mіжнародної науково-технічної конференції «Сучасні проблеми інфокомунікацій, радіоелектроніки та наносистем (СПІРН-2023)», 15-17 листопада 2023 р. Електрон. текст. дані. Вінниця, 2023. URL: https://conferences.vntu.edu.ua/index.php/spirn/spirn2023/paper/viewFile/19264.