Мікроелектронний тензометричний перетворювач
Вантажиться...
Файли
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
DOI
Анотація
The paper analyzes modern achievements in the field of microelectronic strain-sensitive transducers. The physical
mechanism of pressure action on semiconductors is investigated. The metrological parameters of strain-sensitive pressure transducers are estimated.
У роботі здійснено аналіз сучасних досягнень в області мікроелектронних тензочутливих перетворювачів. Досліджено фізичний механізм дії тиску на напівпровідники. Виконано оцінювання метрологічних параметрів тензочутливих перетворювачів тиску
У роботі здійснено аналіз сучасних досягнень в області мікроелектронних тензочутливих перетворювачів. Досліджено фізичний механізм дії тиску на напівпровідники. Виконано оцінювання метрологічних параметрів тензочутливих перетворювачів тиску
Опис
Ключові слова
УДК
Тип документа
Мова
ISSN
Бібліографічний опис
Семенов А. О., Онищук О. В., Пурик С. с., Чаленко В. Ю. Мікроелектронний тензометричний перетворювач. Матеріали IX Mіжнародної науково-технічної конференції «Сучасні проблеми інфокомунікацій, радіоелектроніки та наносистем (СПІРН-2023)», 15-17 листопада 2023 р. Електрон. текст. дані. Вінниця, 2023. URL: https://conferences.vntu.edu.ua/index.php/spirn/spirn2023/paper/viewFile/19264.