Мікроелектронний чотиризондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору
Вантажиться...
Файли
Дата
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
DOI
Анотація
A microelectronic four-probe device for measurement of semiconductor resistance comprises an inductance coil and a capacitor connected to a power source. Four probes, a second power source, two resistors, a bipolar transistor and a field-effect transistor are incorporated.
Опис
УДК
Тип документа
Мова
Є частиною
ISSN
Бібліографічний опис
Пат. 66947, МПК H01L 21/66, G01R 31/26. Мікроелектронний шестизондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору [Текст] / О. В. Осадчук, Ю. І. Нікешин (Україна). - № u201108127 ; заявл. 29.06.2011 ; опубл. 25.01.2012, Бюл. № 2. - 2 с. : кресл.