Методи та засоби вимірювання напівпровідникового опору на основі перетворювачів з частотним виходом

Abstract

На сьогоднішній день існує велика потреба в застосуванні вимірювання питомого опору на напівпровідникових зразках (виготовлення мікропроцесорів, мікроконтролерів, схем пам'яті та ін.). Існує багато засобів, методів та приладів для вимірювання напівпровідникового опору. Багато методів вимірювання питомого електричного опору матеріалів засновані на вимірюванні різних електричних потенціалів на деяких зразках, через які проходить електричний струм. Ми розглянемо найбільш актуальні на теперішній момент можливості вимірювання питомого опору на напівпровідникових зразках.