Vacuum nanoscale carbon coatings

Abstract

У цій статті висвітлено проблему забезпечення однорідності та рівномірності нанорозмірних покриттів, отриманих у вакуумі осадженням із парів вуглецю. Пари вуглецю одержують нагріванням у вакуумі одним або кількома електронними променями водоохолоджуваного тигля, покритого розплавленим шаром тугоплавкого металу. Через особливості траєкторії руху парів вуглецю від тигля до підкладки може виникнути ситуація з утворенням на покритті дефекту типу «козирок», який перешкоджає рівномірності покриття.This article illustrates the problem ensuring homogeneity and uniformity of nanoscale coatings obtained in vacuum by carbon vapor deposition. Carbon vapors are obtained by heating in a vacuum with one or more electron beams a water-cooled crucible, which is covered with a molten layer of refractory metal. Due to the peculiarities of the trajectory of the movement of carbon vapors the crucible to the substrate, a situation may arise with the formation of a \"visor\" type defect on the coating, which prevents the uniformity of the coating.