| dc.contributor.author | Коломієць, В. І. | uk |
| dc.date.accessioned | 2016-06-06T12:44:19Z | |
| dc.date.available | 2016-06-06T12:44:19Z | |
| dc.date.issued | 2015 | |
| dc.identifier.citation | Коломієць В. І. Мікропроцесорний пристрій для контролю процесу плазмохімічного травлення мікроструктур [Електронний ресурс] : [презентація] / В. І. Коломієць ; Вінницький національний технічний університет ; Факультет радіотехніки, зв’язку та приладобудування ; Кафедра електроніки. - Електронні текстові дані (1 файл: 0,80 Мбайт). - Вінниця, 2015. - Назва з екрана. | uk |
| dc.identifier.uri | http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/11566 | |
| dc.description | Керівник : к.ф.-м.н., доц. Кравченко Ю. С. | uk |
| dc.description.abstract | Розроблено пристрій контролю плазмохімічного травлення на основі застосування методу емісійно-спектрального контролю, що складається з вузькосмугових фільтрів, первинних оптичних перетворювачів (фоторезистор), частотних перетворювачів та компаратора. Розраховано вольт-амперну характеристику частотного оптичного перетворювача з фото резистором. Показано, що оптичний перетворювач має чутливість в межах від 64 до 5 кГц/люкс, максимальну чутливість оптичний перетворювач має при напрузі живлення 1 В та напрузі керування 6 В. Розроблено друковану плату пристрою. | uk |
| dc.description.abstract | The device control plasma chemical etching method based on the use of emission-control spectrum consisting of narrow band filters, primary optical converters (resistor), frequency converters and microprocesor. Calculated current-voltage characteristic frequency optical converter with a photo resistor. It is shown that the optical transducer has a sensitivity ranging from 64 to 5 kHz / lux maximum sensitivity optical converter is the supply voltage 1 V and control voltage 6 V. A printed circuit board unit. | en |
| dc.language.iso | uk_UA | uk_UA |
| dc.publisher | ВНТУ | uk |
| dc.title | Мікропроцесорний пристрій для контролю процесу плазмохімічного травлення мікроструктур | uk |
| dc.type | Presentation | |
