• English
    • українська
  • English 
    • English
    • українська
  • Login
View Item 
  • Frontpage
  • Факультет інформаційних електронних систем
  • Кафедра інформаційних радіоелектронних технологій і систем
  • Наукові роботи каф. ІРТС
  • View Item
  • Frontpage
  • Факультет інформаційних електронних систем
  • Кафедра інформаційних радіоелектронних технологій і систем
  • Наукові роботи каф. ІРТС
  • View Item
Сайт інституційного репозитарію ВНТУ містить роботи, матеріали та файли, які були розміщені докторантами, аспірантами та студентами Вінницького Національного Технічного Університету. Для розширення функцій сайту рекомендується увімкнути JavaScript.

Частотний оптичний перетворювач для контролю плазмохімічних процесів

Author
Осадчук, В. С.
Осадчук, О. В.
Кравченко, Ю. С.
Селецька, О. О.
Осадчук, А. В.
Селецкая, Е. А.
Seletska, O. O.
Osadchuk, V. S.
Osadchuk, O. V.
Kravchenko, Yu. S.
Date
2008
Metadata
Show full item record
Collections
  • Наукові роботи каф. ІРТС [790]
Abstract
Експериментально досліджено можливість використання частотного оптичного перетворювача на основі біполярного та польового транзисторів в системі контролю процесу зняття фоторезисту. Дослідження проводились на установці плазмохімічної та іонно-хімічної обробки 08ПХО-125/50-08 (тиск в системі становив 20 Па, потужність – 900 Вт, товщина фоторезисту – 1,5 мкм).
 
Экспериментально исследована возможность использования частотного оптического преобразователя на основе биполярного и полевого транзисторов в системе контроля процесса снятия фоторезиста. Исследования проводились на установке плазмохимической и ионно-химической обработки 08ПХО-125 / 50-08 (давление в системе составлял 20 Па, мощность - 900 Вт, толщина фоторезиста - 1,5 мкм).
 
Experimentally investigated the use of frequency optical converter based bipolar transistors and field control system in the process of removing photoresist. Research conducted at the facility for ion-plasma chemical and chemical processing 08PHO-125 / 50-08 (pressure the system was 20 Pa, power - 900 watts, photoresist thickness - 1.5 mm).
 
URI:
http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/13980
View/Open
SELETSKA_#4_HNU_08.pdf (4.658Mb)

Institutional Repository

FrontpageSearchHelpContact UsAbout Us

University Resources

JetIQLibrary websiteUniversity websiteE-catalog of VNTU

Browse

All of DSpaceCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsTypePublisherLanguageUdcISSNPublicationDOIThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsTypePublisherLanguageUdcISSNPublicationDOI

My Account

LoginRegister

Statistics

View Usage Statistics

ISSN 2413-6360 | Frontpage | Send Feedback | Help | Contact Us | About Us
© 2016 Vinnytsia National Technical University | Extra plugins code by VNTU Linuxoids | Powered by DSpace
Працює за підтримки 
НТБ ВНТУ