Мікроелектронні частотні перетворювачі вологості на основі транзисторних структур з від'ємним опором

Abstract

Розроблено мікроелектронні частотні перетворювачі вологості з ємнісними елементами, які реалізують принцип перетворення «вологість–частота». Експериментально доведено, що фізико-хімічні властивості вологочутливого шару ємнісного елемента суттєво впливають на чутливість перетворювачів. Встановлено, що найчутливішим є перетворювач з ємнісним елементом, виготовленим на основі комплексних сполук.