• English
    • русский
    • українська
  • English 
    • English
    • русский
    • українська
  • Login
View Item 
  • Frontpage
  • Патенти, авторські свідоцтва
  • Факультет інформаційних електронних систем
  • View Item
  • Frontpage
  • Патенти, авторські свідоцтва
  • Факультет інформаційних електронних систем
  • View Item
Сайт інституційного репозитарію ВНТУ містить роботи, матеріали та файли, які були розміщені докторантами, аспірантами та студентами Вінницького Національного Технічного Університету. Для розширення функцій сайту рекомендується увімкнути JavaScript.

Спосіб плазмового травлення оптично прозорих плівок оксиду індію та олова

Author
Кравченко, Юрій Степанович
Плахотнюк, Максим Миколайович
Кравченко, Юрий Степанович
Плахотнюк, Максим Николаевич
Kravchenko, Yurii Stepanovych
Plakhotniuk, Maksym Mykolaiovych
Date
2007-04-25
Metadata
Show full item record
Collections
  • Факультет інформаційних електронних систем [640]
Abstract
Спосіб плазмового травлення оптично прозорих плівок оксиду індію та олова належить до електронної техніки і може бути використаний в мікроелектронній технології при формуванні напівпровідникових структур на основі оксидів олова та індію.
 
Способ плазменного травления оптически прозрачных пленок оксида индия и олова относится к электронной технике и может быть использован в микроэлектронной технологии при формировании полупроводниковых структур на основе оксидов олова и индия.
 
A plasma etching method for optically transparent films of indium and tin oxides relates to electronic engineering and can be used in microelectronic technique at forming semitransparent structures on the base of indium and tin oxides.
 
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/1835
View/Open
22675.pdf (68.22Kb)

Institutional Repository

FrontpageSearchHelpContact UsAbout Us

University Resources

JetIQLibrary websiteUniversity websiteE-catalog of VNTU

Browse

All of DSpaceCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsTypePublisherLanguageUdcISSNPublicationDOIThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsTypePublisherLanguageUdcISSNPublicationDOI

My Account

LoginRegister

Statistics

View Usage Statistics

ISSN 2413-6360 | Frontpage | Send Feedback | Help | Contact Us | About Us
© 2016 Vinnytsia National Technical University | Extra plugins code by VNTU Linuxoids | Powered by DSpace
Працює за підтримки 
НТБ ВНТУ